不同等级的洁净室洁净度、通风高效空气过滤器的关系,不同等级的洁净室洁净度、所使用的高效空气过滤器的质量如果有了保证,通风参数(平均风速或换气次数)是决定洁净等级质量的关键因素。目前要求较为严格的洁净室工程中所用的高效空气过滤器一般都要求经过逐台检测。(目前国内对于高效过滤器出厂检漏很少)。国内可以开展洁净室施工的单位成千上万,所以对于各种洁净室的换气次数及平均风速的取值也有差别。换气次数少,投资省,运行成本低,洁净度上有风险。
一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试
(一)空态、静态测试
空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
(二)动态测试
洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定实行。
二、空态、静态测试
(一)测试前的准备
1. 应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
2. 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处,可以2-4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。
(二)测试内容
1. 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;
2. 洁净室压力值;
3. 层流洁净室断面风速和气流流向;
4. 洁净工作区的洁净度;
5. 室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;
6. 洁净室内噪声。
(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法
对于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法,也可采用滤膜显微镜计数法。
光散射粒子计数法:
1. 光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1升。1,000级-10,000级:每次采样量大于或等于0.3升。100,000级:每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室,宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时,可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。
向流洁净室也称”层流”或匀流洁净室,这种洁净室的平均风速至关重要,粉尘的自由扩散速度是0.15-0.2m/s,如果风速压不住粉尘的扩散速度,即使使用效率再高的空气过滤器也达不到预期的效果。
非单向流洁净室,也称乱流洁净室,洁净室靠送风来稀释尘埃粒子,以达到一定的洁净度要求。乱流洁净室由于室内操作人员较多、生产过程中(如:设备、原材料等)发尘量也较大,高效空气过滤器效率的高低并不是决定性因素。
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